[发明专利]一种稳压气体氮化自动控制方法在审
| 申请号： | 201710904866.9 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107723652A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋志俊 | 申请（专利权）人： | 法垄热工技术(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙)31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201109 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稳压气体氮化自动控制方法，1）采用氢探头或其它测量手段，获得气氛中的氨气，氢气的分压，稳定等工艺参数；2）将氢气，氨气分压传输给PLC；3）PLC根据设定好的公式，计算氮势值Kn值，得到Kn‑real；4）将测量得到氮势值Kn‑real与工艺设定的值Kn‑set进行比较，得到偏差值；5）根据偏差值的大小，根据PLC的控制单元，输出指令给质量流量计MFC，进行流量控制；6）流量改变后，将导致炉内气氛Kn值的不断变化，再被氢探头测量，完成闭环控制；7）增加压力传感器或探头P，来直接测量压力变化。并通过新变量来优化流量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳压 气体 氮化 自动控制 方法 | ||
【主权项】：
一种稳压气体氮化自动控制方法，其特征在于：1）采用氢探头或其它测量手段，获得气氛中的氨气，氢气的分压，稳定等工艺参数；2）将氢气，氨气分压传输给PLC；3）PLC根据设定好的公式，计算氮势值Kn值，得到Kn‑real；4）将测量得到氮势值Kn‑real 与工艺设定的值Kn‑set进行比较，得到偏差值；5）根据偏差值的大小，根据PLC的控制单元，输出指令给质量流量计MFC，进行流量控制；6）流量改变后，将导致炉内气氛Kn值的不断变化，再被氢探头测量，完成闭环控制；7）增加压力传感器或探头P，来直接测量压力变化，并通过新变量来优化流量控制。
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