[发明专利]一种单晶硅切片生产用研磨装置在审

专利信息
申请号: 201710897607.8 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN107738178A 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 曹曙光 申请(专利权)人: 阜宁浔朋新材料科技有限公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B57/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 224400 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种单晶硅切片生产用研磨装置,包括底板,所述底板的顶端焊接有箱体,所述箱体的底端内壁焊接有两个相互平行的油缸,所述箱体的一侧外壁开有操作窗,两个所述油缸的延长杆底端焊接有同一个固定板,所述固定板的底端外壁焊接有下固定架,且下固定架的两侧内壁通过螺栓固定有第二电机,所述第二电机的输出轴焊接有下轴承座,且下轴承座的顶端通过螺栓固定有下磨盘,所述箱体的一侧外壁焊接有控制盘,所述箱体的顶端外壁焊接有上固定架。本发明结构简单,易于操作,省时省力,可以让工作人员按需要设定研磨时间,并可通过控制盘控制整个装置的运行,节省时间的同时,也提高了装置的工作效率。
搜索关键词: 一种 单晶硅 切片 生产 研磨 装置
【主权项】:
一种单晶硅切片生产用研磨装置,包括底板(10),其特征在于,所述底板(10)的顶端焊接有箱体(3),所述箱体(3)的底端内壁焊接有两个相互平行的油缸(8),所述箱体(3)的一侧外壁开有操作窗(13),两个所述油缸(8)的延长杆底端焊接有同一个固定板(6),所述固定板(6)的底端外壁焊接有下固定架,且下固定架的两侧内壁通过螺栓固定有第二电机(7),所述第二电机(7)的输出轴焊接有下轴承座,且下轴承座的顶端通过螺栓固定有下磨盘(14),所述箱体(3)的一侧外壁焊接有控制盘(5),所述箱体(3)的顶端外壁焊接有上固定架(1),且上固定架(1)的两侧内壁通过螺栓固定有第一电机(2),所述第一电机(2)的输出轴焊接有上轴承座,所述上轴承座的底端外壁通过螺栓固定有上磨盘,且上磨盘位于箱体(3)的内部,所述箱体(3)靠近顶端的两侧内壁均焊接有固定条(4),两个所述固定条(4)的一侧外壁均开有电动滑槽(11),且两个电动滑槽(11)内壁均嵌接有滑座(12),所述箱体(3)的顶端内壁焊接有上液体箱(15),所述箱体(3)一侧内壁上焊接有固定座,且固定座的顶端外壁焊接有下液体箱,所述下液体箱和上液体箱(15)均位于远离第一电机(2)的一侧,所述箱体(3)靠近顶端一侧外壁开有第一通孔,所述箱体(3)靠近固定座一侧外壁开有第二通孔,且第二通孔和第一通孔均位于远离操作窗(13)的一侧,所述第一通孔的内壁焊接有第一回流管(16),所述箱体(3)一侧外壁焊接有固定架,所述固定架的顶端通过螺栓固定有回流泵(17),且第一回流管(16)远离上液体箱(15)的一端与回流泵(17)的出口端连接,所述第二通孔的内壁焊接有第二回流管,且第二回流管远离下液体箱的一端与回流泵(10)的进口端连接,所述箱体(3)的底端内壁通过螺栓固定有蓄电池(19),且蓄电池(19)位于远离油缸(8)的一侧。
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