[发明专利]化学反应器中的湿度控制

摘要

化学反应器中的湿度控制。本发明总体上描述了对化学反应器中的湿度的控制及其相关系统和方法。在某些实施方案中，输气导管内和腔室内的湿度可被控制以抑制气体输送路径中的不期望的凝结。通过抑制气体输送路径中的凝结，可限制(或消除)这样的路径的堵塞，使得可更容易并且更可控地实现气体的输送。另外，本发明还描述了用于吹扫化学反应器系统中的凝结液体的策略。

主权项

一种反应器系统，包含：反应器腔室；反应器腔室进气导管，其配置成将气体通过反应器腔室进气口输送到所述反应器腔室中；流量控制机构，其配置成将通过所述反应器腔室进气导管的气体流量调节成等于或小于约每秒1毫升的速率；增湿器，其配置成对通过所述反应器腔室进气导管输送的气体进行增湿，所述增湿器定位在所述流量控制机构与所述反应器腔室进气口之间；反应器腔室出气导管，其配置成将气体通过反应器腔室出气口输送出所述反应器腔室；以及在所述反应器腔室外部的气体旁路导管，所述气体旁路导管连接所述进气导管与所述出气导管。