[发明专利]一种电注入退火系统

摘要

本申请公开了一种电注入退火系统，包括箱体，所述箱体内设置有多个放置太阳能电池片的载具架，所述箱体连接有供电装置，所述供电装置与所述太阳能电池片连接并对所述太阳能电池片供电加热，所述箱体还连接有通风装置，所述通风装置连接有冷却装置，所述冷却装置和所述箱体之间连接有温控装置，所述温控装置用于根据检测到所述箱体内的温度控制所述冷却装置的冷却速度以维持所述箱体内恒温。上述电注入退火系统，能够提高降温速度，缩短电注入退火的工艺处理时间，提高生产效率，是太阳能电池片具有更优良的抗LID性能。

主权项

1.一种电注入退火系统，其特征在于，包括箱体，所述箱体内设置有多个放置太阳能电池片的载具架，所述箱体连接有供电装置，所述供电装置与所述太阳能电池片连接并对所述太阳能电池片供电加热，所述箱体还连接有通风装置，所述通风装置连接有冷却装置，所述冷却装置和所述箱体之间连接有温控装置，所述温控装置用于根据检测到所述箱体内的温度控制所述冷却装置的冷却速度以维持所述箱体内恒温；所述供电装置包括3个电源柜，每个所述电源柜里面设置有4台直流稳压电源，每个所述直流稳压电源都通过耐高温电缆连接至位于所述箱体内的太阳能电池片；所述通风装置包括与所述箱体的出风口连接的第一冷却风道和与所述箱体的进风口连接的第二冷却风道，所述第一冷却风道和所述第二冷却风道之间设置有冷却风机和冷却腔；所述冷却装置包括设置在所述冷却腔内部的冷却水管路，所述冷却水管路还设置有球阀。