[发明专利]显示面板、显示装置及低温多晶硅薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明提供一种显示面板、显示装置及低温多晶硅薄膜晶体管制备方法。该方法包括：提供衬底基板；在衬底基板上形成半导体层；在半导体层上形成第一绝缘层；在第一绝缘层上形成第一金属层，对第一金属层进行图形化处理，得到第一金属栅极层；在第一金属层上形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成第二金属层，对第二金属层进行图形化处理，得到第二金属栅极层，第一、二金属层的材料采用钼、钽、铝、钨中的至少一种；在第二金属层上形成第三绝缘层；在第三绝缘层上形成第三金属层，并对第三金属层进行图形化处理，以形成源极和漏极；在第二绝缘层上形成使第一、二金属栅极层连接的第一过孔，在第三绝缘层上形成使源极和漏极与半导体层连接的第二过孔。

主权项

一种低温多晶硅薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一衬底基板；在所述衬底基板上形成半导体层；在所述半导体层上形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成第一金属层，并对所述第一金属层进行图形化处理，以得到第一金属栅极层；在所述第一金属层上形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层上形成第二金属层，并对所述第二金属层进行图形化处理，得到第二金属栅极层，其中，所述第一金属栅极层和所述第二金属栅极层连接；在所述第二金属层上形成第三绝缘层；在所述第三绝缘层上形成第三金属层，并对所述第三金属层进行图形化处理，以形成源极和漏极，其中，所述源极和所述漏极与所述半导体层连接。