[发明专利]一种显影装置及显影方法有效
| 申请号： | 201710869745.5 | 申请日： | 2017-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN107479342B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 贾东坡;魏凡 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽、回收箱和设于显影槽正上方且用于传送基板的传送部；显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；回收箱包括第一箱体和第二箱体；第一槽与第一箱体连通；基板处于第二槽内，第二槽与第一箱体连通；基板处于第三槽内，第三槽与第二箱体连通。该显影装置能够解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通。
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