[发明专利]一种显影装置及显影方法

说明书

本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽、回收箱和设于显影槽正上方且用于传送基板的传送部；显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；回收箱包括第一箱体和第二箱体；第一槽与第一箱体连通；基板处于第二槽内，第二槽与第一箱体连通；基板处于第三槽内，第三槽与第二箱体连通。该显影装置能够解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种显影装置及显影方法。

背景技术

在显示面板制造行业中，基板的制作工艺是制造高质量显示面板的一个重要部分。基板的制作包括：清洗、成膜、涂布、曝光、显影等。基板的显影是基板制作中的重要流程。

目前，基板的显影需要显影装置对已曝光的基板进行显影。在显影过程中，显影装置利用显影液对基板上的光阻进行反应去除并回收显影液。然而，在显影液回收过程中，与基板上的光阻相互反应的显影液中的光阻浓度过高，该部分显影液回收至回收箱会降低回收箱中显影液的浓度。这时，用户需要往回收箱补充大量的标准浓度的显影液进行稀释，从而降低光阻浓度。然而，这一稀释流程将浪费大量的材料成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影装置，用以解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。

本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通。

其中，所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第一通道上设有第一阀门；在所述基板到达所述第二槽时，所述第一阀门开启。

其中，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第二通道上设有第二阀门；在所述基板到达第三槽时，所述第二通道的所述第二阀门开启。

其中，所述显影装置还包括：设于所述第一槽顶端的喷嘴及设于所述第三槽顶端的风刀。

其中，所述传送部包括多个传送滚轴；多个所述传送滚轴平行间隔设置构成运输平面。

其中，所述显影装置还包括反射式传感器；所述反射式传感器包括发射装置及控制装置，所述发射装置用于发射信号，所述控制装置用于接收信号，并控制所述第一阀门与所述第二阀门的开启及关闭。

其中，所述第一箱体设有进水口。

其中，所述第一箱体的内部端面设有溢流管；所述溢流管连通所述第一箱体的内部和所述第一箱体外部。

本发明还提供一种显影方式，其包括：

所述基板置于所述运输平面，所述反射式传感器检测到所述基板，并开始计时；

启动所述传送部将所述基板移动至所述第一槽上方，并通过所述喷嘴进行喷淋；

经过第一喷淋时间，所述基板移动至所述第二槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门开启，所述第二阀门关闭，所述第二槽与所述第一箱体连通；

经过一段传送时间，所述基板移动至第三槽上方，所述反射式传感器控制所述第一阀门关闭，所述第二阀门开启，所述第三槽与所述第二箱体连通。