[发明专利]涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器

摘要

提供能够缓和扫描方向上的液滴的着陆位置的允许误差的涂敷装置。其包括：具有多个在第一方向上排列设置有多个喷嘴的头部件的排出组件；保持基板的基板保持部；和在与上述第一方向交叉的第二方向上使上述排出组件和上述基板保持部相对移动的移动机构，上述排出组件从上述喷嘴向隔堤的开口部排出发光材料的液滴，上述隔堤作为上述开口部包括在上述第二方向上以规定的顺序排列的第一开口部、第二开口部和第三开口部，上述第一开口部与上述第二开口部和上述第三开口部相比，上述第二方向的尺寸较小，将彼此相邻的上述第二开口部和上述第三开口部在上述第二方向上隔开的隔壁部的厚度小于在上述第二方向上夹着上述第一开口部的2个隔壁部各自的厚度。

主权项

一种涂敷装置，其特征在于，包括：具有多个头部件的排出组件，该头部件在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与所述第一方向交叉的第二方向上使所述排出组件和所述基板保持部相对移动的移动机构，所述排出组件从所述喷嘴向在由所述基板保持部保持的所述基板预先形成的隔堤的开口部排出发光材料的液滴，所述隔堤作为所述开口部包括用于注入发出彼此不同的颜色的光的发光材料的液滴的第一开口部、第二开口部和第三开口部，所述第一开口部、所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上以规定的顺序排列，所述第一开口部与所述第二开口部和所述第三开口部相比，在所述第二方向上的尺寸较小，将彼此相邻的所述第二开口部和所述第三开口部在所述第二方向上隔开的隔壁部的厚度，小于在所述第二方向上夹着所述第一开口部的2个隔壁部各自的厚度。