[发明专利]玻璃板和玻璃基板的制造方法

摘要

本发明提供玻璃板和玻璃板的制造方法。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且抑制反应气体对相反侧的半导体元件等的形成面的影响。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。一边将玻璃板(1)在表面粗糙化装置(100)内输送一边使其第2主表面(20)被作为反应气体的氟化氢气体蚀刻，并尽量抑制反应气体对其他面的影响。特别是，第1主表面(10)的Al/Si的值大于第2主表面(20)的Al/Si的值，抑制Al自玻璃成分中被沥滤，使第1主表面(10)与形成于第1主表面(10)的半导体元件等的密合性良好。

主权项

一种玻璃板，其中，该玻璃板具有：第1主表面；第2主表面，其与所述第1主表面相对；以及端面，其连接所述第1主表面和所述第2主表面，所述第1主表面的第1表面粗糙度小于所述第2主表面的第2表面粗糙度，所述第1主表面的Al/Si的值大于所述第2主表面的Al/Si的值。