[发明专利]一种基于Micro-LED无掩模投影固定式紫外曝光机在审
| 申请号： | 201710848656.2 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109521646A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 孙雷 | 申请（专利权）人： | 北京德瑞工贸有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Micro‑LED无掩模投影固定式紫外曝光机，包括Micro‑LED、计算机及图形控制软件、放大或缩小镜头、待曝光工件表面和工作台。为使Micro‑LED像素尺寸符合实际曝光需求，采用放大或缩小镜头用于放大或缩小曝光像素的尺寸。本发明一种基于Micro‑LED无掩模投影固定式紫外曝光机，无复杂的光机损耗，可以实现更高的能量利用效率、更高的曝光强度、更快的加工速度。并且结构小巧，易于和机器人相结合接入自动化流水线。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外曝光机 固定式 无掩模 投影 放大 能量利用效率 自动化流水线 曝光 曝光工件 曝光像素 图形控制 镜头 工作台 光机 计算机 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于Micro‑LED无掩模投影固定式紫外曝光机，其特征在于，包括Micro‑LED、计算机及图形控制软件、放大或缩小镜头、待曝光工件表面和工作台。
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