[发明专利]一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置有效

专利信息
申请号: 201710846630.4 申请日: 2017-09-19
公开(公告)号: CN107574401B 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 秦国强;常金永;张志祥 申请(专利权)人: 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
主分类号: C23C4/134 分类号: C23C4/134
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 殷红梅;任月娜
地址: 214437 江苏省无锡市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置,中心支撑的外侧设置有外壳体,外壳体的端部设置有端盖,中心支撑和外壳体中分别设置有第一旋转密封圈和第二旋转密封圈,第一旋转密封圈和壳体间设置有第一轴承,第二旋转密封圈和端盖间设置有第二轴承,外壳体的上方设置有通气管,通气管与中心腔相连通,中心支撑的左端均匀布设有四个进气孔,中心腔右侧设置有若干个连通孔,导流环与连通孔相连通中心支撑的右端设置有导流环,导流环的右端设置有整流芯。本发明结构简单,设计紧凑,装卡方便,可靠性高;减轻了整体的重量,降低了转动过程中的离心力;同时避免了因冷却水渗漏而导致的靶材报废,从而降低了生产成本,显著地提高经济效益。
搜索关键词: 旋转密封圈 中心支撑 外壳体 导流环 靶材 等离子喷涂 风冷装置 连通孔 通气管 中心腔 端盖 轴承 外侧设置 转动过程 进气孔 冷却水 整流芯 壳体 装卡 左端 渗漏 生产成本 紧凑 报废
【主权项】:
1.一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置,其特征在于:包括两个对称设置的连接头,所述连接头包括中心支撑(1)、端盖(2)、外壳体(3)、通气管(4)、第一旋转密封圈(5)、第二旋转密封圈(7)、第一轴承(6)、第二轴承(8)、导流环(16)和整流芯(13),所述中心支撑(1)的外侧设置有外壳体(3),所述中心支撑(1)的中部设置有中心腔,所述外壳体(3)的端部设置有端盖(2),所述中心支撑(1)的右端设置有导流环(16),所述导流环(16)的右端设置有整流芯(13);第一旋转密封圈(5)和第二旋转密封圈(7)分别设置在外壳体(3)与中心支撑(1)之间的空腔中,分别位于通气管两侧,所述第一旋转密封圈(5)和外壳体(3)间设置有第一轴承(6),所述第二旋转密封圈(7)和端盖(2)间设置有第二轴承(8),所述外壳体(3)的上方设置有通气管(4),所述通气管(4)与中心腔相连通,所述中心支撑(1)的左端均匀布设有四个进气孔(14),所述中心支撑(1)右侧设置有若干个连通孔(15),所述导流环(16)与连通孔(15)相连通。
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