[发明专利]高强度坩埚的制备方法

摘要

本发明公开了高强度坩埚的制备方法，方法包括将碳化硅以及石墨分别置于球磨机中，研磨得到碳化硅以及石墨粉体；将氧化铝、氧化钇以及氧化镧分别置于球磨机中，研磨得到氧化铝、氧化钇以及氧化镧粉体；将碳化硅粉体、石墨粉体、氧化铝粉体、氧化钇粉体以及氧化镧粉体置于搅拌机中，搅拌得到混料a；将粘结剂加入至混料中，搅拌得到混料b；将混料b倒入至坩埚模具，得到坩埚坯料；将坩埚坯料置于模腔，在压力为12‐18MPa压力下，进行加热，加热至温度为1300‐1600℃，保温6‐9h，然后自然冷却，得到坩埚。通过以碳化硅、石墨以及氧化铝为坯料的主体材料，构成坯料的主体，可以使得制作的坩埚强度非常高，本工艺方法简单，且制作的坩埚强度高，可以使用的寿命长。

主权项

高强度坩埚的制备方法，其特征在于，方法包括：将碳化硅以及石墨分别置于球磨机中，球磨机转速为60‐120r/min，将碳化硅以及石墨研磨至10‐80μm，得到碳化硅以及石墨粉体；将氧化铝、氧化钇以及氧化镧分别置于球磨机中，球磨机转速为200‐280r/min，将碳化硅以及石墨研磨至0.05‐10μm，得到氧化铝、氧化钇以及氧化镧粉体；将碳化硅粉体、石墨粉体、氧化铝粉体、氧化钇粉体以及氧化镧粉体置于搅拌机中，搅拌速度为30‐50r/min，搅拌4‐8min，得到混料a；将粘结剂加入至混料中，搅拌速度为40‐80r/min，搅拌2‐5min，得到混料b；将混料b倒入至坩埚模具，得到坩埚坯料；将坩埚坯料置于模腔，在压力为12‐18MPa压力下，进行加热，加热至温度为1300‐1600℃，保温6‐9h，然后自然冷却，得到坩埚。