[发明专利]一种基于柔性衬底的微波功率分配器及制备方法

摘要

一种基于柔性衬底的微波功率分配器及制备方法，包括柔性PET衬底和设置在柔性PET衬底上端面上的高介电常数介质层，高介电常数介质层的上端面上设置有微波功率分配器金属层。在柔性PET衬底上采用磁控溅射的方法涂上一层高介电常数钛酸钡介质层作为微带线介质层。接下来通过ADS仿真软件实现对于特定介电常数以及功分器结构的设计与仿真，生成功分器结构掩膜版，并完成制版。制备好的掩膜版光刻在柔性完成磁控溅射高介电常数介质层的PET衬底，随后进行金属蒸发从而实现一个较高频率下工作以及可弯曲工作的射频功率分配器的制备。本发明在柔性衬底上制备高性能的柔性射频功分器结构，实现了在不同弯曲状态下电路的正常工作。

主权项

一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，包括，柔性PET衬底(1)和设置在所述柔性PET衬底(1)上端面上的高介电常数介质层(2)，所述高介电常数介质层(2)的上端面上设置有微波功率分配器金属层(3)。