[发明专利]一种基于柔性衬底的微波功率分配器及制备方法

权利要求书

1.一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，包括，柔性PET衬底(1)和设置在所述柔性PET衬底(1)上端面上的高介电常数介质层(2)，所述高介电常数介质层(2)的上端面上设置有微波功率分配器金属层(3)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，所述微波功率分配器的工作频率为0.8-1.2Ghz。

3.根据权利要求1所述的一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，所述的微波功率分配器金属层(3)包括有由微带线构成的：直线形的功率分配器输入单元(3.1)，输入端分别连接在所述功率分配器输入单元(3.1)的输出端的第一门形输送单元(3.2)和第二门形输送单元(3.3)，输入端对应连接在所述第一门形输送单元(3.2)的输出端的第一双折弯形输出单元(3.4)，输入端对应连接在所述第二门形输送单元(3.3)的输出端的第二双折弯形输出单元(3.5)，所述第一输出单元(3.4)的输出端构成微波功率分配器第一输出端，所述第二双折弯输出单元(3.5)的输出端构成微波功率分配器第二输出端。

4.根据权利要求3所述的一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，所述的第一门形输送单元(3.2)和第二门形输送单元(3.3)对称设置共同构成矩形结构；所述第一双折弯形输出单元(3.4)和第二双折弯形输出单元(3.5)对称设置。

5.根据权利要求3所述的一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，所述的第一门形输送单元(3.2)、第二门形输送单元(3.3)、第一双折弯形输出单元(3.4)和第二双折弯形输出单元(3.5)的折弯处均为弧形折弯。

6.根据权利要求3所述的一种柔性衬底上的微波功率分配器，其特征在于，所述微带线的电导率为5.88E+7。

7.一种权利要求1所述的柔性衬底上的微波功率分配器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)在ADS仿真软件中设计出功率分配器的基本原理图，采用微带电路中微带线作为功分器的基本微带线单元，完成各基本微带线单元之间的连线与设计，初始化微带线的基本长宽参数，设计对称的网络结构；

2)给出微带线的相关参数；

3)对微带线电路图进行S参数为目标的仿真与优化，添加优化控件，设置0.8Ghz-1.2Ghz为目标工作频率区间以及S参数在所述频率区间的数值要求，完成对每个微带线单元的优化设置；

4)进行仿真，得到S参数的曲线，并与目标进行对比，进行15次以上优化以后得到最优结果；

5)生成功率分配器的版图，进行版图优化后仿真，得到仿真曲线，保存版图；

6)根据生成的版图制备掩膜版，在PET塑料衬底上磁控溅射产生97.2高介电常数的介质层；

7)使用丙酮和异丙醇在超声中清洗PET衬底，随后在清洗后的衬底上进行1813正性光刻胶的匀胶，所述匀胶速率为4K转速，进行30s时间，在匀胶后对PET衬底进行3分钟的115°温度的前烘；

8)根据制备的掩膜版对PET衬底进行对准光刻，形成功率分配器的图案；

9)在形成的功率分配器图案上进行金属蒸发，形成厚度为500nm的金电极金属层，对PET衬底去胶以后得到柔性衬底上的微波功率分配器。

8.根据权利要求7所述的柔性衬底上的微波功率分配器的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的微带线是平行耦合微带线或弧形微带线或一般微带线。

9.根据权利要求7所述的柔性衬底上的微波功率分配器的制备方法，其特征在于，步骤2)所述的微带线的相关参数，包括：基板厚度设置为0.5mm，微带线的相对介电常数为97.2，微带线的电导率为5.88E+7，微带电路的封装高度为1.0e+33mm，微带线的金属层厚度为500nm，输入端口的特征阻抗为50欧，输出端口的特征阻抗为70欧，从而得到微带线的长和宽分别为998.784um和8.7451um。