[发明专利]纳米金属颗粒阵列结构的制备方法有效
| 申请号： | 201710824969.4 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107620038B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 孔明光;吴兵;刘玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/50;C23C14/46;C23C14/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 11567 北京旭路知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法，属于纳米电化学技术领域，包括以下步骤：S1、选取离子溅射仪，安放在载样台上，矫正离子溅射仪；S2、以聚苯乙烯小球作为模板，以金属靶材为初始材料，将聚苯乙烯小球置于载样台上，旋转载样台，然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面；S3、将蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热，升温至600‑700℃保温，即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列；S4、溶解聚苯乙烯小球，即得到金属纳米颗粒有序阵列。该纳米金属颗粒阵列结构通过溅射旋转状态下的聚苯乙烯小球，以达到在聚苯乙烯小球表面镀膜的纳米颗粒阵列结构间距在20nm以下进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 金属 颗粒 阵列 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、选取一台离子溅射仪，安放在载样台上，矫正离子溅射仪，并对离子溅射仪进行抽真空操作；/nS2、以聚苯乙烯小球作为模板，以金属靶材为初始材料，将聚苯乙烯小球置于载样台上，旋转载样台，降低离子溅射仪内的真空度，并向离子溅射仪中通入保护气体，然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面；/nS3、将S2蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热，升温至600-700℃，并在此温度下保温40-50min，即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列；/nS4、溶解聚苯乙烯小球，即得到金属纳米颗粒有序阵列；/n所述S2中采用的聚苯乙烯小球先后用乙醇、去离子水在超声波状态下清洗其表面，然后在30-35℃的空气中通风烘干；所述S2中采用的功率为100-110W进行溅射，溅射时间为13-18s。/n
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