[发明专利]微观缺陷整合预警方法及装置

摘要

本发明涉及液晶显示器制造过程中的微观缺陷整合预警方法，及使用本方法的装置。先后通过微观检查机对待测基板进行检测，发现并定位该待测基板上的缺陷，存入存储单元，再由数据收集单元从存储单元中收集该待测基板的各种检测缺陷数据，传入整合分类单元。整合分类单元同时引入缺陷数据库，将历史缺陷与现有缺陷进行分析对比，从而判定该待测基板上的缺陷情况，进行分类整合。必要时，当缺陷达到一定危害程度，触发预警机制工作。该方法省去了检测人员每次均由人工对检测缺陷数据进行手动分析的不足，实时反应生成现场的运行状态。使用该方法的装置既提高了检测效率，也避免了检测结果滞后带来的成本浪费。

主权项

一种微观缺陷整合预警方法，其特征在于，包括以下步骤：使用微观检查机对待测基板进行检测，并将所检测到的缺陷数据存入存储单元；数据收集单元从所述存储单元中收集所述检测缺陷数据，并将所述检测缺陷数据传给整合分类单元；建立缺陷数据库，并对据库中的缺陷数据进行分类，预设每一类数据库缺陷数据对应的预警阈值；所述整合分类单元将所述检测缺陷数据与所述数据库缺陷数据进行对比分析，确定所述检测缺陷数据的类别；将分类后的所述检测缺陷数据与所述数据库缺陷数据预设的预警阙值进行对比，当所述检测缺陷数据的数值达到对应的所述预警阈值时，所述整合分类单元触发预警信号。