[发明专利]一种紫外辐照装置有效
| 申请号： | 201710816121.7 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107377533B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 史婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B29C35/08 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种紫外辐照装置，所述紫外辐照装置包括：腔室，用于容置基材；样品台，用于承载所述基材，位于所述腔室顶部或底部；紫外灯，用于发射紫外光，与所述样品台相对设置，位于所述腔室顶部或底部；以及镜面反射结构，设置在所述腔室内，用于反射所述紫外灯发射的紫外光；其中，所述镜面反射结构包括有序排列的凸起或凹陷，用于将照射到所述镜面反射结构的所述紫外光朝各个方向反射；以解决紫外清洗或紫外辐射固化过程中紫外辐照不均匀的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 辐照 装置 | ||
【主权项】：
一种紫外辐照装置，其特征在于，包括：腔室，用于容置基材；样品台，用于承载所述基材，位于所述腔室顶部或底部；紫外灯，用于发射紫外光，与所述样品台相对设置，位于所述腔室顶部或底部；以及镜面反射结构，设置在所述腔室内，用于反射所述紫外灯发射的紫外光；其中，所述镜面反射结构包括有序排列的凸起或凹陷，用于将照射到所述镜面反射结构的所述紫外光朝各个方向反射。
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