[发明专利]一种紫外辐照装置

权利要求书

1.一种紫外辐照装置，其特征在于，包括：

腔室，用于容置基材；

样品台，用于承载所述基材，位于所述腔室顶部或底部；

紫外灯，用于发射紫外光，与所述样品台相对设置，位于所述腔室顶部或底部；以及

镜面反射结构，设置在所述腔室内，用于反射所述紫外灯发射的紫外光，所述镜面反射结构包括有序排列的凸起或凹陷，用于将照射到所述镜面反射结构的所述紫外光朝各个方向反射；

其中，所述样品台上设置有夹持部，用于夹持所述基材的两端，下夹持部沿所述样品台水平移动，上夹持部与所述下夹持部平行且相向运动使所述基材与所述样品台呈一定角度，通过所述上夹持部与所述下夹持部的往复运动使得所述紫外光均匀的照射至所述基材的正面与背面。

2.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述镜面反射结构设置在所述腔室的预定位置，所述腔室的预定位置至少包括所述腔室的四周、顶部、底部中的一者。

3.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述凸起或凹陷分布于整个所述镜面反射结构。

4.根据权利要求3所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述凸起或凹陷呈圆锥状、棱锥状、棱台状、尖凸状或者圆凸状等。

5.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述凸起或凹陷的表面为镜面。

6.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述紫外灯照射范围大于所述样品台范围。

7.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述腔室至少包括两所述样品台，至少两所述样品台位于所述腔室顶部或底部同侧，用于承载至少一个所述基材。

8.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述紫外辐照装置至少包括两所述紫外灯，至少两所述紫外灯中心对称分布于所述腔室顶部或底部。

9.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述紫外灯为紫外灯板，所述紫外灯板覆盖整个所述腔室顶部或底部。

10.根据权利要求1所述的紫外辐照装置，其特征在于，所述样品台通过上升或下降用以取放所述基材。