[发明专利]一种硅芯加工装置

摘要

本发明公开了一种硅芯加工装置，包括有箱体、主轴系统、冷却系统、定位装置、控制系统等，主轴系统、冷却系统、定位装置、控制系统设置在箱体上，主轴系统驱动刀具旋转，定位装置完成硅芯固定、调整、进给、回程等运动，冷却系统进行冷却、润滑、除尘等；控制系统将各系统联动起来，实现人机操作交换，提高工作效率、保证加工精度。本发明由滚珠丝杠带动，传动平稳、进给量精确、摩擦阻力小、运行可靠；采用可编程控制器进行控制，方便对工参数进行修改，在试加工合格后，使用固定的程序，保证加工尺寸一致，质量稳定；冷却系统采用旋转接头对接结构，使系统简洁、紧凑，实现对转动加工的有效冷却，并冲洗带走碎屑，保证连续加工。

主权项

1.一种硅芯加工装置，其特征在于：包括有箱体、主轴系统、冷却系统、固定硅芯的定位装置和控制系统，主轴系统设置在箱体上，且主轴系统与控制系统连接，主轴运动由控制系统控制；冷却系统的给水机构设置在主轴系统中，回水机构依附于箱体；定位装置设置在箱体的侧面，定位装置与控制系统连接，硅芯安装在定位装置上，硅芯加工时由控制系统控制定位装置按已编制存储的程序动作以完成硅芯加工；主轴的前端安装有用于加工硅芯的刀具，在主轴内部设有冷却通道，冷却通道对接冷却系统形成对刀具加工部位的冷却结构；定位装置包括有定位套、连接板、丝杠螺母、滚珠丝杠、支撑座和定位板，定位装置与箱体由螺栓连接固定，定位板安装在箱体上；硅芯固定在定位套中，连接板将定位套与丝杠螺母连接，滚珠丝杠安装在支撑座上，丝杠螺母与滚珠丝杠连接，滚珠丝杠转动时，丝杠螺母带动连接板和定位套运动以实现定位；冷却系统通过一旋转接头与主轴形成对接结构，旋转接头包括有静环座、动环密封圈、静环密封圈、轴承、动环座、弹簧、动环、静环和挡圈，通过一螺钉将动环座与主轴连接，实现动环的轴向和径向定位，保证两者同步转动；动环安装在动环座内，并在压紧弹簧作用下紧贴在静环的后端面上，实现运动件与静止件的密封；动环密封圈设置在动环内形成防止冷却介质从主轴外表面泄漏的密封结构，静环密封圈安装在静环的外围形成防止冷却介质从静环座端面泄漏的密封结构，轴承内圈与主轴连接，挡圈与静环座连接。