[发明专利]一种基于金刚石的光电探测器件的制备方法在审
| 申请号： | 201710810314.1 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN108630783A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 卢英杰;林超男;单崇新;董林 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 王晓丽 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种基于金刚石的光电探测器件的制备方法，采用金刚石为基底，用激光将金刚石表面处理成石墨电极，构建金刚石光电探测器件，所述的石墨电极为叉指电极或/和环形电极，在金刚石上用激光扫描直接构建光电探测器阵列或探测器阵列，光电探测器电极是由石墨形成的。本发明的有益效果为：通过激光处理金刚石表面，经过处理的金刚石生成石墨作为金刚石基光电探测器件的电极，该石墨电极制备方便简单，与金刚石接触良好，结合紧密，耐腐蚀，耐磨损，可以利用激光扫描做出不同图形的电极，构建不同结构、不同尺寸的光电探测器件，利用该方法构建的光电探测器阵列灵敏度高、响应速度快，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 光电探测器件 构建 电极 石墨 制备 光电探测器阵列 金刚石表面 激光扫描 石墨电极 光电探测器 探测器阵列 叉指电极 环形电极 激光处理 灵敏度 耐腐蚀 耐磨损 基底 激光 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于金刚石的光电探测器件的制备方法，其特征在于：采用金刚石为基底，用激光将金刚石表面处理成石墨电极，构建金刚石光电探测器件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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