[发明专利]一种台式电子扫描显微镜有效
| 申请号： | 201710800141.5 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN108054072B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 马银平;沈非 | 申请（专利权）人： | 深圳市善时仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/16;H01J37/20;H01J37/147 |
| 代理公司： | 南宁新途专利代理事务所(普通合伙) 45119 | 代理人： | 但玉梅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种台式电子扫描显微镜，包括镜筒和与镜筒连通的真空室；镜筒内设置有电子枪、聚光镜、光阑机构、扫描线圈，以及聚焦透镜；真空室内样品台和调节机构；经由聚焦透镜汇聚的电子束投射在样品上产生二次电子；真空室内还设置有接收二次电子并将其转换成数字信号发送至计算机的接收处理单元；电子枪发射电子束后，电子束经由聚光镜进行聚光，以及光阑机构进行滤除后，由聚焦透镜进行聚焦成点状并投射到样品上，经过样品产生的二次电子由接收处理单元接收并将其转换成数字信号发送至计算机进行显示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台式 电子扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种台式电子扫描显微镜，包括镜筒和与所述镜筒连通的真空室；其特征在于，所述镜筒内设置有发射电子束的电子枪、为所述电子枪发射的电子束进行会聚的聚光镜、对所述聚光镜聚焦后电子束滤除离轴的电子束的光阑机构、使得经过所述光阑机构后电子束作扫描动作的扫描线圈，以及位于所述扫描线圈下方将电子束聚焦成点的聚焦透镜；所述真空室内设置有放置样品的样品台和带动所述样品台纵向和/或横向运动的调节机构；经由所述聚焦透镜汇聚的电子束投射在所述样品上产生二次电子；所述真空室内还设置有接收所述二次电子并将其转换成数字信号发送至计算机的接收处理单元。
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