[发明专利]微流道装置的制造方法和微流道装置在审
| 申请号： | 201710795687.6 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109225086A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 廖育萱;蔡芳松;吴雅涵;蔡群贤;李庭鹃;蔡群荣 | 申请（专利权）人： | 台湾奈米碳素股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 陈鹏;李静 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微流道装置的制造方法和微流道装置，所述方法先提供一以玻璃材质制成的模具，该模具具有一中空模穴以及围绕该中空模穴的一挡墙；再使该模具设置于一硅基板，该硅基板具有一对应该中空模穴的成形面以及一凸出于该成形面的微流道阳模；接着将聚二甲基硅氧烷倒至该中空模穴，并进行烘烤，以使该聚二甲基硅氧烷硬化成一微流道装置，该微流道装置具有一对应于该微流道阳模的微流道结构，且该微流道装置的侧壁高度介于3毫米至30毫米之间。由于该模具的材质为玻璃，可以制造出侧壁高度大于3毫米的微流道装置，因此可以防止负压吸力不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微流道装置 模具 中空模穴 微流道 聚二甲基硅氧烷 硅基板 侧壁 阳模 制造 玻璃材质 负压吸力 成形面 烘烤 成形 挡墙 空模 硬化 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种微流道装置的制造方法，其特征在于，所述方法包含有以下步骤：步骤S1：提供一由玻璃材质制成的模具，所述模具具有一中空模穴以及围绕所述中空模穴的一挡墙，所述挡墙具有一不低于3毫米的高度；步骤S2：将所述模具设置于一硅基板上，所述硅基板具有一对应所述中空模穴的成形面和一凸出于所述成形面的微流道阳模；步骤S3：将一未硬化的聚二甲基硅氧烷倒入至所述中空模穴，并进行烘烤，以使所述聚二甲基硅氧烷硬化成一微流道装置；以及步骤S4：使所述微流道装置脱离所述中空模穴与所述硅基板，所述微流道装置具有一对应于所述微流道阳模的微流道结构，且所述微流道装置的侧壁高度介于3毫米至30毫米之间。
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