[发明专利]微流道装置的制造方法和微流道装置

说明书

一种微流道装置的制造方法和微流道装置，所述方法先提供一以玻璃材质制成的模具，该模具具有一中空模穴以及围绕该中空模穴的一挡墙；再使该模具设置于一硅基板，该硅基板具有一对应该中空模穴的成形面以及一凸出于该成形面的微流道阳模；接着将聚二甲基硅氧烷倒至该中空模穴，并进行烘烤，以使该聚二甲基硅氧烷硬化成一微流道装置，该微流道装置具有一对应于该微流道阳模的微流道结构，且该微流道装置的侧壁高度介于3毫米至30毫米之间。由于该模具的材质为玻璃，可以制造出侧壁高度大于3毫米的微流道装置，因此可以防止负压吸力不足的问题。

技术领域

本发明为涉及一种微流道装置，尤指一种微流道装置的制造方法及其结构。

背景技术

随着半导体技术与生物技术的蓬勃发展，结合微结构的制造技术与生医检测技术而发展出的微流道反应器，是提高反应产物品质和提高过程效率的重要技术手段，并已被广泛的应用于化工、材料及制药等领域，是相关领域中的必备用品。

而微流道的应用如中国台湾专利公告第I421340号的“微流道晶片及其使用方法”，其包括有一基材以及至少一组织培养区，该基材具有一表面，该至少一组织培养区，形成于该基材的表面，且该组织培养区具有一微流道，其是由多个具有一预定深度的几何形结构所连接形成，该微流道具有分别位于该微流道的两端的一输入口与一输出口，且该微流道底部开设有至少一气体交换孔。

又由于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)具有良好的光学穿透性、生物相容性高以及化学性质稳定等优点，已广泛的被用来做为微流道的基材，然而，以现在的厚模光阻或是干模技术都难以使制得的聚二甲基硅氧烷的侧壁高度高于一足以产生充足负压的高度，而运用压克力作为制造模具时，由于压克力于多次烘烤后会产生形变，并因为热膨胀系数等关系，而使得聚二甲基硅氧烷溢流，故无法达成小线宽流道的需求及脱模快速的重复性工业生产需求。尤其是负压型的聚二甲基硅氧烷微流道的侧壁高度如果低于该足以产生充足负压的高度，将会造成负压吸力不足而使得应用受到很大的限制，且无法充分发挥出微流道的原本设计优点，因此，如何制作出一种具有足以产生充足负压的高度的聚二甲基硅氧烷微流道，实为相关业者所面临的课题。

发明内容

本发明的主要目的，在于解决聚二甲基硅氧烷微流道的侧壁高度不足，而导致负压吸力不足的问题。

为达上述目的，本发明提供一种微流道装置的制造方法，包含有以下步骤：

S1：提供一由玻璃材质制成的模具，该模具具有一中空模穴以及围绕该中空模穴的一挡墙，该挡墙具有一不低于3毫米的高度；

S2：将该模具设置于一硅基板上，该硅基板具有一对应该中空模穴的成形面以及一凸出于该成形面的微流道阳模；

S3：倒入一未硬化的聚二甲基硅氧烷至该中空模穴，并进行烘烤，以使该聚二甲基硅氧烷硬化成一微流道装置；以及

S4：将该微流道装置脱离该中空模穴与该硅基板，该微流道装置具有一对应于该微流道阳模的微流道结构，且该微流道装置的侧壁高度介于3毫米至30毫米之间。

为达上述目的，本发明更提供一种由前述方法制成的微流道装置。

于本发明一实施例中，该模具的该中空模穴的至少一边角经一圆滑处理而成为一圆滑角。

于本发明一实施例中，于步骤S2之后，涂布一脱模剂于该中空模穴与该成形面上。

综上所述，本发明相较于先前技术所具有的优点在于：

(1)本发明中，由于该模具的材质为玻璃，其热膨胀系数与该硅基板接近、该模具与该硅基板的表面平整度高、于多次加热烘烤后不会产生形变，故可以防止该聚二甲基硅氧烷于加热烘烤时溢流，而减少后续修整的工作。