[发明专利]薄膜极化承载组件及薄膜极化设备在审
| 申请号： | 201710792879.1 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109427958A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王开安 | 申请（专利权）人： | 王开安 |
| 主分类号： | H01L41/257 | 分类号： | H01L41/257 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 蔺显俊;梁琴琴 |
| 地址： | 美国加利福*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及提供一种薄膜极化承载组件，其用于实现在薄膜极化过程中对压电器件进行承载以对压电器件中所包含的薄膜进行极化，其包括基座及至少一定位装置，所述基座上形成有用于放置压电器件的放置区域以及形成在放置区域边缘的定位孔，所述定位装置可转动设置于所述定位孔中并部分露出所述基座，所述定位装置定义一圆心，露出基座的部分定位装置外边缘上至少具有一点到圆心的距离大于所述放置区域边缘到所述圆心之最小距离。本发明还提供采用上述薄膜极化承载组件的薄膜极化设备。本发明具有将压电器件及压电器件中的薄膜精准定位、保证薄膜极化位置准确及极化效果优良的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电器件 极化 圆心 承载组件 定位装置 放置区域 极化设备 定位孔 可转动设置 极化过程 极化位置 极化效果 精准定位 最小距离 外边缘 承载 保证 | ||
【主权项】：
1.薄膜极化承载组件，其用于实现在薄膜极化过程中对压电器件进行承载以对压电器件中所包含的薄膜进行极化，其特征在于：包括基座及至少一定位装置，所述基座上形成有用于放置压电器件的放置区域以及形成在放置区域边缘的定位孔，所述定位装置可转动设置于所述定位孔中并部分露出所述基座，所述定位装置定义一圆心，露出基座的部分定位装置外边缘上至少具有一点到圆心的距离大于所述放置区域边缘到所述圆心之最小距离。
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