[发明专利]照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201710788152.6 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107807494B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 大阪昇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法。提供在CD一致性这点上有利的曝光波长的控制技术。提供对被照明面进行照明的照明光学系统。照明光学系统具有：遮光板，形成开口部，该开口部规定被照明面中的照明区域的形状；调整部，进行遮光板的调整，以变更被照明面中的照明区域；以及波长选择部，选择对所述被照明面进行照明的光的波长，调整部根据由波长选择部选择的波长，使用遮光板来变更照明区域。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种照明光学系统，对被照明面进行照明，所述照明光学系统的特征在于，具有：遮光板，形成开口部，该开口部规定所述被照明面中的照明区域的形状；调整部，进行所述遮光板的调整，以变更所述被照明面中的所述照明区域；以及波长选择部，选择对所述被照明面进行照明的光的波长，所述调整部根据由所述波长选择部选择的波长，使用所述遮光板来变更所述照明区域。
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