[发明专利]平面度计量用干涉腔装置在审
| 申请号： | 201710781185.8 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107621238A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 石慧;王子瀚;顾洋;王青 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面度计量用干涉腔装置，干涉腔的外围布置有围护板，其中一面开孔作为干涉仪准直光的通光孔；围护板分为内外两层，内层围护板内部均匀掏挖沿光轴方向相互平行的孔槽，孔槽内通恒温水流。本发明的装置原理科学，结构合理，加工方便，整个构件稳定、可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 计量 干涉 装置 | ||
【主权项】：
一种平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：干涉腔的外围布置有围护板，其中一面开孔作为干涉仪准直光的通光孔；围护板分为内外两层，内层围护板内部均匀掏挖沿光轴方向相互平行的孔槽，孔槽内通恒温水流。
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