[发明专利]平面度计量用干涉腔装置

权利要求书

1.一种平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：干涉腔的外围布置有围护板，其中一面开孔作为干涉仪准直光的通光孔；围护板分为内外两层，内层围护板内部均匀掏挖沿光轴方向相互平行的孔槽，孔槽内通恒温水流。

2.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述围护板的底板[1]上依次放置PZT移相器、二维调整架和三维调整架，二维调整架底座和三维调整架底座与光轴方向垂直；二维调整架上夹持标准平晶[6]，三维调整架上夹持待测平晶[7]，光线从干涉仪出射，经标准平晶[6]入射到待测平晶[7]后被反射，反射光线与入射光线相遇产生干涉条纹。

3.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述围护板外层为橡塑保温板，内层为铝板。

4.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述PZT移相器通过支撑板[2]放置在底板[1]上。

5.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述二维调整架包括定板[4]和动板[5]，定板[4]与PZT移相器连接，动板[5]上设有平晶框的卡口，连接自定中心三爪来夹持标准平晶[6]。

6.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述三维调整架内的调整电机[8]对待测平晶[7]进行倾斜调整。

7.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述孔槽内通的恒温水流为20℃。

8.根据权利要求1所述的平面度计量用干涉腔装置，其特征在于：所述孔槽之间用堵头阻隔。