[发明专利]一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法

摘要

本发明为一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，使用本技术方案整个过程不需加温能够在不损伤塑胶工件的前提下镀膜，使用钛靶和硅靶进行基底膜镀制，塑胶的主要成分包含大量的碳原子，和硅原子具有良好的结合力，因此使用钛靶和硅靶进行基底膜的镀制能够增加膜层和工件的结合力，基底膜镀制完成后加入银靶溅射，使具有防菌效果的银均匀分布在硅化钛膜层中，形成具有防菌效果的防菌膜，另外在镀膜过程中工件挂在挂架上，工件在自转的同时公转，使溅射过程成膜均匀，并且能够避免局部温度过高损伤工件。

主权项

1.一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)预处理：将塑胶工件清洁干净并低温吹干；(2)真空处理：预处理后的工件放上挂架并放入真空炉内，对金属挂架加载偏压，真空炉内抽真空0.5‑1.5x10^‑3Pa，启动转盘，使工件在挂架上转动，同时挂架在真空炉内转动；(3)基础膜镀制：开启电源调至30‑40V，占空比为20％‑30％，通入氩气使真空度达到0.3‑1Pa，启动钛靶和硅靶，使工件表面形成TiSi₂膜层；(4)防菌膜镀制：保持钛靶和硅靶，降低氩气流量，通入乙炔气体，随后开启银靶在工件表面形成TiSi₂/Ag防菌膜；(5)镀膜完成：先关闭钛靶和硅靶，再关闭银靶，然后关闭所有气体，加强抽气5‑10分钟，除去真空炉内残留的碳离子，将真空炉放空气至大气压，取出工件完成镀膜。