[发明专利]一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法

权利要求书

1.一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)预处理：将塑胶工件清洁干净并低温吹干；

(2)真空处理：预处理后的工件放上挂架并放入真空炉内，对金属挂架加载偏压，真空炉内抽真空0.5-1.5x10^-3Pa，启动转盘，使工件在挂架上转动，同时挂架在真空炉内转动；

(3)基础膜镀制：开启电源调至30-40V，占空比为20％-30％，通入氩气使真空度达到0.3-1Pa，启动钛靶和硅靶，使工件表面形成TiSi₂膜层；

(4)防菌膜镀制：保持钛靶和硅靶，降低氩气流量，通入乙炔气体，随后开启银靶在工件表面形成TiSi₂/Ag防菌膜；

(5)镀膜完成：先关闭钛靶和硅靶，再关闭银靶，然后关闭所有气体，加强抽气5-10分钟，除去真空炉内残留的碳离子，将真空炉放空气至大气压，取出工件完成镀膜。

2.根据权利要求1所述一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于：所述步骤(1)中工件清洁为塑胶清洁剂清洁或超声波清洁中的一种，吹干温度不超过60℃。

3.根据权利要求1所述一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于：所述步骤(2)中金属挂架加载偏压-200—-300V。

4.根据权利要求1所述一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于：所述步骤(3)中氩气的流量为100-250sccm，靶电流为10A，电镀时间为2-10分钟。

5.根据权利要求1所述一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于：所述步骤(4)中氩气流量降低至40-80sccm，乙炔气体流量为150-250sccm，乙炔气体通入时间为1-5分钟。

6.根据权利要求1所述一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法，其特征在于：所述步骤(4)中银靶的靶电流为0.5-1A，银靶溅射时间为1-4分钟。