[发明专利]高纯度氮化硅反应炉在审
| 申请号： | 201710777924.6 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107726866A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 王占营;刘宗才;王占军;付随州;王兵;王帅印;王亚辉;王志永 | 申请（专利权）人： | 河南中汇新材科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D11/02 | 分类号： | F27D11/02;F27D7/04;F27D21/02;F27D1/00;C01B21/068 |
| 代理公司： | 郑州金成知识产权事务所(普通合伙)41121 | 代理人： | 郭增欣 |
| 地址： | 451263 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯度氮化硅反应炉，它包括炉壳、炉膛和炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，其特征是所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。所述炉膛内设置有气体循环装置，所述气体循环装置包括轴流风扇和电机，所述轴流风扇设置在所述炉膛的下端，所述电机设置在炉壳外部，所述轴流风扇和所述电机通过磁耦合连接。本发明在炉膛的底部加入适量的加热体，使下部温度提高到和上部一样，降低甚至消除温差，并且通过轴流风扇的作用，使炉膛内的温度达到充分的均匀，保证了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 纯度 氮化 反应炉 | ||
【主权项】：
一种高纯度氮化硅反应炉，包括炉壳、炉膛和炉盖，所述炉膛的两侧分别设置有侧加热管，所述侧加热管通过电极与外部电源连接，所述炉膛的下部设置有支柱和托板，所述托板上能够放置料盒，其特征是：所述托板和所述炉膛的底壁之间设置有下加热管，所述下加热管与所述电极连接。
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