[发明专利]一种调焦调平检测装置有效
| 申请号： | 201710773193.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109426093B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 杨宣华;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种调焦调平检测装置，包括包括投影单元、探测单元和智能控制单元，所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记，所述待测物将入射光线反射，形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元，所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理，得出所述待测物的位置信息。本发明所提供的调焦调平检测装置，区域测量标记可以覆盖待测物上一个区域，而不仅仅是单点，实现了区域测量，提高了效率，并且根据不同待测物可以采用不同大小的区域测量标记，从而提高了测量的准确性；并且采用智能控制单元，实现了实时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种调焦调平检测装置，其特征在于，包括投影单元、探测单元和智能控制单元，所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记，所述待测物将入射光线反射，形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元，所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理，得出所述待测物的位置信息。
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