[发明专利]一种调焦调平检测装置

权利要求书

1.一种调焦调平检测装置，其特征在于，包括投影单元、探测单元和智能控制单元，所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记，所述待测物将入射光线反射，形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元，所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理，得出所述待测物的位置信息；

所述智能控制单元控制所述探测单元工作在两种模式下，分别为静态测量模式和动态扫描模式；

在初始装调或更换探测单元时，采用所述静态测量模式快速找到区域测量标记位置，减少装调时间；在调焦调平扫描时，利用所述动态扫描模式来实现高速采集区域测量标记信息。

2.如权利要求1所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述投影单元包括光源、照明镜组、狭缝、投影镜组，所述光源发出的光线依次通过所述照明镜组、狭缝以及投影镜组后，入射到待测物表面形成所述区域测量标记。

3.如权利要求1或2所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述区域测量标记为多组光斑。

4.如权利要求3所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述多组光斑平行排列。

5.权利要求1所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述探测单元包括探测镜组、测量探测器，所述反射光线通过所述探测镜组进入所述测量探测器，所述测量探测器接收反射光线并模拟出区域测量标记的图像信息。

6.如权利要求2所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述智能控制单元包括控制电路模块，所述控制电路模块发出控制信号并接收经过探测单元处理的反射光线；

所述控制电路模块包括主控制器、时序发生器和采集处理器，所述主控制器识别用户选择的是静态测量模式或者动态扫描模式，进而确定时序发生器发出的时钟信号，所述时钟信号发出给测量探测器后，所述测量探测器根据时钟信号进行静态测量或者动态扫描，模拟出光斑的图像信息，反馈给采集处理器，所述采集处理器一方面将信息反馈给主控制器，一方面将信息进行数据传输给到用户。

7.如权利要求5所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述测量探测器为面阵相机，所述面阵相机包括线阵模式和面阵模式。

8.如权利要求7所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述智能控制单元采用静态测量模式时，所述面阵相机采用面阵模式。

9.如权利要求8所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述智能控制单元采用动态扫描模式时，所述面阵相机采用线阵模式。

10.如权利要求4所述的调焦调平检测装置，其特征在于，每个所述光斑包含多个子光斑，所述子光斑是非等间距的。

11.如权利要求1所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述待测物的信息包括表面高度和倾斜度，在所述区域测量标记上任取i个点，所述表面高度和倾斜度满足公式：AX_i+BY_i+C＝Z_i，并且A＝-Ry，B＝Rx；

其中Xi为所取点的横坐标，Yi为所取点的纵坐标，A、B、C表示拟合系数，可根据上述公式算出Rx和Ry和Zi，其中Rx和Ry表示表面的倾斜度，Zi表示高度。

12.如权利要求11所述的调焦调平检测装置，其特征在于，所述i个点不在一条直线上，i大于等于3。