[发明专利]一种运动模组及方法有效

专利信息
申请号: 201710773178.3 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN109426092B 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 王刚;施益超;黄栋梁;宋海军 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;F16C32/06;F16D63/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提出了一种垂向运动模组及方法,可实现载动工件沿垂直方向运动。使用音圈电机带动支撑组件运动,同时结合至少一个气浮轴套组件引导其沿垂直方向运动,提高了整个垂向运动模组洁净度,避免定期维护,降低了维护成本。本发明中的音圈电机、至少一个气浮轴套组件以及制动组件均固定在固定组件上,使整个模组结构简单,体积较小。控制组件限制支撑组件的运动行程,并对工件的位置及运动速度进行控制,增加模组运动精度,保证工作效率。当工件到达其预定工位时、音圈电机无法制动时或者出现断电情况时,本发明使用制动组件控制支撑组件沿垂直方向的位移,解决了垂向运动模组位置无法保持的问题。
搜索关键词: 一种 运动 模组 方法
【主权项】:
1.一种垂向运动模组,用于载动一工件沿第一方向运动,其特征在于,所述第一方向垂直于所述工件所在的平面;所述垂向运动模组包括支撑组件、固定组件、驱动组件、至少一个导向组件以及制动组件;所述驱动组件连接于所述固定组件与所述支撑组件之间,以驱动所述支撑组件相对于所述固定组件运动;每个导向组件均与所述固定组件及支撑组件连接,用以确保所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向运动;所述制动组件分别连接于所述固定组件和支撑组件,用于固定所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向的位置。
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