[发明专利]一种运动模组及方法

权利要求书

1.一种垂向运动模组，用于载动一工件沿第一方向运动，其特征在于，所述第一方向垂直于所述工件所在的平面；所述垂向运动模组包括支撑组件、固定组件、驱动组件、至少一个导向组件以及制动组件；

所述支撑组件至少包括一用于放置所述工件的支撑顶板及一与所述支撑顶板边缘相接的支撑侧板；

所述固定组件至少包括一固定底板及一与所述固定底板边缘相接的固定侧板，所述支撑侧板所在的平面与所述固定侧板所在的平面平行；

所述驱动组件连接于所述固定组件的固定底板与所述支撑组件的支撑顶板之间，以驱动所述支撑组件的支撑顶板相对于所述固定组件的固定底板运动；

每个导向组件均与所述固定组件及支撑组件连接，用以确保所述支撑组件的支撑顶板相对于所述固定组件的固定底板沿第一方向运动，其中，所述至少一个导向组件均为气浮轴套组件，每个所述气浮轴套组件均包括第一支撑座、第二支撑座、至少一个导向轴以及安装座，所述导向轴的方向均与所述第一方向一致，所述安装座均与所述支撑侧板连接，当所述驱动组件驱动所述支撑侧板相对于所述固定组件沿第一方向进行运动时，所述安装座沿所述导向轴运动；

所述制动组件分别连接于所述固定组件和支撑组件，用于固定所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向的位置。

2.如权利要求1所述的垂向运动模组，其特征在于，所述制动组件包括：导轨、轨道钳制器以及连接件，所述导轨与所述支撑侧板连接，所述轨道钳制器通过所述连接件固定于所述固定底板上，并用于对所述导轨进行抱死操作，以固定所述支撑顶板相对于所述固定底板沿第一方向的位置。

3.如权利要求2所述的垂向运动模组，其特征在于，所述轨道钳制器包括一导向槽，所述导轨设置于所述导向槽内，并与所述导向槽的所有内侧面均存在间隙。

4.如权利要求2所述的垂向运动模组，其特征在于，所述轨道钳制器的驱动方式包括气体驱动及电驱动。

5.如权利要求4所述的垂向运动模组，其特征在于，所述垂向运动模组包括两个气浮轴套组件，每个气浮轴套组件的第一支撑座均与所述固定侧板连接，所述第二支撑座均固定于所述固定底板上；每个气浮轴套组件的安装座均与所述支撑侧板连接；每个气浮轴套组件均包括一个导向轴，每个导向轴的方向均与所述第一方向一致。

6.如权利要求4所述的垂向运动模组，其特征在于，所述垂向运动模组包括一个气浮轴套组件和一个气浮导轨结构，所述气浮轴套组件的导向轴与气浮导轨结构的向轴的方向均与所述第一方向一致。

7.如权利要求1所述的垂向运动模组，其特征在于，所述垂向运动模组还包括一控制组件，所述控制组件包括光栅尺、光栅尺读头以及至少一个限位传感器；

所述光栅尺及光栅尺读头用于对所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向的位置及运动速度进行控制；所述至少一个限位传感器用于限制所述支撑组件相对于所述固定组件的运动行程。

8.一种使用如权利要求1-7所述的任一垂向运动模组载动工件沿第一方向运动的方法，其特征在于，包括：驱动组件驱动支撑组件运动；

至少一个导向组件工作，确保所述支撑组件相对于固定组件沿第一方向运动，所述工件位于所述支撑组件上，其中，所述至少一个导向组件包括气浮轴套组件，每个所述气浮轴套组件均固定在所述固定组件上，使每个所述气浮轴套组件的导向轴的方向均与所述第一方向一致；

制动组件工作，固定所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向的位置。

9.如权利要求8所述的载动工件沿第一方向运动的方法，其特征在于，每个气浮轴套组件工作，确保所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向运动的步骤包括：

每个气浮轴套组件工作，使每个气浮轴套组件上的安装座沿所述导向轴运动，从而为与所述安装座连接的支撑组件导向，确保所述支撑组件相对于所述固定组件沿第一方向运动。