[发明专利]光学测量系统及方法有效
| 申请号： | 201710770658.4 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109425618B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;张凌云;张鹏斌;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 钟胜光 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学测量系统及方法，该系统包括：光源组件，其被配置为产生出射光；遮光组件，其沿光学路径设置在透镜组件和光源组件之间，用于限制透镜组件能够接收到的出射光；透镜组件，其被配置为基于经过遮光组件的出射光，向待测物提供入射光，并获取由待测物基于入射光所产生的反射光；光探测组件，其被配置为接收反射光；以及处理器，其通信耦合至光探测组件和遮光组件，处理器被配置为通过调整遮光组件对出射光的遮挡来调整入射光的入射方向，并根据反射光确定待测物是否包括缺陷。通过实施本发明的技术方案，能够快速地对待测物(譬如，晶圆)进行测量，并且杂散光较少，具有更高的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量系统，其特征在于，包括：光源组件，其被配置为产生出射光；遮光组件，其沿光学路径设置在透镜组件和光源组件之间，用于限制所述透镜组件能够接收到的所述出射光；透镜组件，其被配置为基于经过所述遮光组件的出射光，向所述待测物提供入射光，并获取由所述待测物基于所述入射光所产生的反射光；光探测组件，其被配置为接收所述反射光；以及处理器，其通信耦合至所述光探测组件和所述遮光组件，所述处理器被配置为通过调整所述遮光组件对所述出射光的遮挡来调整所述入射光的入射方向，并根据所述反射光确定所述待测物是否包括缺陷。
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