[发明专利]一种照明系统及方法有效
| 申请号： | 201710763530.5 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109426090B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 钱俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种照明系统及方法，该系统包括沿光路依次排列的光源、匀光单元、视场切换单元、可变狭缝组件和中继镜组单元，所述视场切换单元与所述匀光单元的出射面对应，以改变所述匀光单元的视场尺寸。通过视场切换单元根据照明视场的扫描宽度确定子视场的数量，并根据所需子视场的数量调整光斑的大小从而满足视场需求，本发明将视场配置的功能与匀光的功能分离开，实现了视场配置的在线切换功能，不损失能量，不影响视场内的照度和积分均匀性；将匀光单元模块化，所有TFT光刻机使用相同规格的匀光石英棒，就可实现各种长宽比要求的扫描曝光视场，成本低廉，结构简单，高效安全，高度模块化，方便后续的改造，升级和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 系统 方法 | ||
【主权项】：
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