[发明专利]一种照明系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710763530.5 申请日: 2017-08-30
公开(公告)号: CN109426090B 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 钱俊 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 照明 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种照明系统,其特征在于,包括沿光路依次排列的光源、匀光单元、视场切换单元、可变狭缝组件和中继镜组单元,所述视场切换单元与所述匀光单元的出射面对应,以改变所述匀光单元的视场尺寸;

所述视场切换单元包括具有不同视场配置的多组视场棱镜组件和带动所述多组视场棱镜组件在光路中切换的驱动组件,切换至光路中的一组视场棱镜组件的入射面与匀光单元的出射面对齐,不同视场配置的多组视场棱镜组件沿扫描方向具有不同的视场尺寸;

所述视场棱镜组件包括一个或多个棱镜,所述多个棱镜固定在同一平面上,并沿扫描方向依次拼接,沿非扫描方向相邻的棱镜错位设置;

或者

所述视场棱镜组件包括多组子视场棱镜组件,所述多组子视场棱镜组件沿光路方向依次拼接,且相邻两组子视场棱镜组件中前一组子视场棱镜组件的出射面与后一组子视场棱镜组件的入射面匹配对齐,每组所述子视场棱镜组件包括一个或多个棱镜,所述多个棱镜固定在同一平面上,并沿扫描方向依次拼接,沿非扫描方向相邻的棱镜错位设置。

2.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,相邻两个所述棱镜的相交棱边之间的夹角为45°或90°。

3.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,相邻两个所述棱镜沿非扫描方向的拼接位置处设有积分均匀性补偿板,所述积分均匀性补偿板相对所述拼接位置处倾斜设置,遮挡相邻两个所述棱镜在拼接位置的部分子视场。

4.根据权利要求3所述的照明系统,其特征在于,所述积分均匀性补偿板为不透光矩形挡片。

5.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述中继镜组单元的最大通光口大于所述视场棱镜组件的视场。

6.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述多个棱镜中至少包含一个异形棱镜,所述异形棱镜包括依次连接的45度倾斜构件和水平构件。

7.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述驱动组件为步进电机及控制单元。

8.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述视场棱镜组件的入射面与匀光单元的出射面的尺寸相同。

9.一种照明方法,其特征在于,根据照明视场沿扫描方向的尺寸和匀光单元的出射面沿扫描方向的尺寸之间的比例关系计算子视场的数量,根据计算结果设计视场棱镜组件,所述视场棱镜组件的出射端输出满足计算结果的一定数量的所述子视场,将所述视场棱镜组件安装在光路中,使其入射面与匀光单元的出射面对齐,所述视场棱镜组件形成的一定数量的子视场拼接成所述照明视场;所述子视场为沿扫描方向依次拼接,沿非扫描方向相邻错位设置。

10.根据权利要求9所述的照明方法,其特征在于,根据照明视场沿扫描方向的尺寸与匀光单元的出射面沿扫描方向的尺寸之间的比例关系,设计满足不同比例关系的多组视场棱镜组件,使用时将满足需求的一组视场棱镜组件移入光路中。

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