[发明专利]一种半导体器件有效
申请号: | 201710757159.1 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN109427869B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 吕信江 | 申请(专利权)人: | 南京芯舟科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739 |
代理公司: | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人: | 朱培祺 |
地址: | 210000 江苏省南京市浦口区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种半导体器件,包括至少一个元胞,且任意一个元胞的结构包括:N型基底;在N型基底的一侧包含至少一个第一槽单元和至少一个第二槽单元;在N型基底的另一侧包含至少一个P型半导体区,P型半导体区称为阳极区;至少一个N型载流子势垒区;至少一个P型电场屏蔽区。本发明的目的在于提出一种半导体器件,该半导体器件具有新型的元胞结构,以获得:大的安全工作区;抗短路能力;消除寄生晶闸管的作用;低栅‑集电极电荷(QGC)以获得最大的抗dv/dt能力;增加发射极侧电导调制,以获得较大的电流密度和极低的导通压降;较小的关断损耗;较低的工艺复杂性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,其特征在于:包括至少一个元胞,且任意一个元胞的结构包括:N型基底;在所述N型基底的一侧包含至少一个第一槽单元和至少一个第二槽单元;在所述N型基底的另一侧包含至少一个P型半导体区,所述P型半导体区称为阳极区;至少一个N型载流子势垒区,所述N型载流子势垒区的掺杂浓度高于所述N型基底的掺杂浓度;至少一个P型电场屏蔽区;所述N型载流子势垒区有与所述第一槽单元直接接触的面,所述N型载流子势垒区还设有与所述第二槽单元直接接触的面,所述P型电场屏蔽区设有与所述第二槽单元直接接触的面;在所述第一槽单元内设有栅极区,所述栅极区与半导体材料之间有第一介质相隔离,在所述第二槽单元内设有阴极区,所述阴极区与半导体材料之间设有第二介质相隔离;所述半导体器件至少包括一个第一电极和一个第二电极;所述P型半导体区设有与所述第一电极直接接触的面;所述阴极区与所述第二电极相连接;至少设有一个所述栅极区与所述第二电极之间有第三介质相隔离,所述栅极区称为半导体器件的第三电极。
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