[发明专利]一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构

摘要

本发明公开了一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构，包括基体，基体包括中间反光镜，在中间反光镜的外侧设有两个环扇形的第一压电梁基体，在第一压电梁基体的外圈设有两个环扇形的第二压电梁基体；在第一压电梁基体的上表面和第二压电梁基体的上表面各黏贴有第一、第二压电陶瓷片；在两个第二压电陶瓷驱动器加载相反电压时，两个第二压电陶器驱动器弯曲方向相反，进而带动中间的固定环绕y轴转动；在两个第一压电陶瓷驱动器加载相反电压时，两个第一压电陶器驱动器弯曲方向相反，进而带动中间的中间反光镜绕x轴转动；当加载在第二压电陶瓷驱动器或第一压电陶瓷驱动器电压方向相同时，固定环或中间反光镜产生垂直x、y所在平面的垂直位移。

主权项

1.一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构，其特征在于，包括一个基体，所述的基体包括一个位于其中心位置的中间反光镜，在所述的中间反光镜的外侧设有两个对称设置的环扇形的第一压电梁基体，在所述的第一压电梁基体的外圈设有两个对称设置的环扇形的第二压电梁基体；在所述的第一压电梁基体和第二压电梁基体之间有固定环；在所述的第一压电梁基体的上表面和第二压电梁基体的上表面各黏贴有第一、第二压电陶瓷片；形成了两个第一压电陶瓷驱动器和两个第二压电陶瓷驱动器；两个第一压电陶瓷驱动器的中心对称线和两个第二压电陶瓷驱动器的中心对称线相互垂直；在两个第二压电陶瓷驱动器加载相反电压时，对称的两个第二压电陶器驱动器弯曲方向相反，进而带动中间的固定环绕y轴转动；y轴穿过固定环中心；在两个第一压电陶瓷驱动器加载相反电压时，对称的两个第一压电陶器驱动器弯曲方向相反，进而带动中间的中间反光镜绕x轴转动，x轴穿过反光镜中心；当加载在第二压电陶瓷驱动器或第一压电陶瓷驱动器电压方向相同时，固定环或中间反光镜产生垂直x、y所在平面的垂直位移。