[发明专利]一种剥离药液成分量测方法及系统有效
| 申请号： | 201710751021.0 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN107328729B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李翔 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N31/16 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种剥离药液成分量测方法及系统，其中，量测方法包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳‑胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；UV量测模式至少执行一次之后再执行滴定量测模式，或者UV量测模式和滴定量测模式同时执行。本发明根据UV量测速度快的特点，可在其量测完成后即反馈量测数据，同时再次取样立即进行下一次量测，这样PR浓度数据的产出周期可大大缩短，且能减少药液消耗，维持PR浓度在一定水准；而滴定量测时间较长，可使其单独量测，这样能监控药液所有成分浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 药液 成分 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种剥离药液成分量测方法，其特征在于，包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳‑胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；所述UV量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。
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