[发明专利]层析成像方法和装置有效
| 申请号： | 201710749949.5 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN107843607B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | R.肖恩马克斯;P.波托塞克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/044 | 分类号： | G01N23/044 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;张涛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用层析成像来研究样本的方法，该方法包括以下步骤：‑将样本提供在样本保持器上；‑引导辐射射束通过样本并且到检测器上，从而生成样本的图像；‑针对相对于所述射束的一组不同的样本取向重复所述引导步骤，从而生成对应的一组图像；‑使用迭代数学重建技术来将所述一组图像转换成该样本的至少一部分的层析图；‑以数学方法约束所述重建，以便缩减从其得出的解空间，附加地包括以下步骤：‑获得与所述部分至少部分地重叠的样本的至少一部分的三维SEM影像；‑使用所述SEM影像来通过将所述重建的迭代结果要求为与从所述SEM影像导出的像素值一致来执行所述约束步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 层析 成像 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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