[发明专利]一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材，属于材料技术领域。其包括硅20‑50份，银25‑55份，铪0.1‑3份，钪0.1‑2份，铝1‑5份，钒2‑7份，镍0.2‑7份，铬0.1‑1份，钴0.1‑2份，氮0.3‑1份，硫0.003‑0.01份。通过铝锭和三硫化二铝的熔化、制粉，银、镍、钒、V32N26、钪、铪、钴和铬的熔化、制粉，之后和将前述所得粉末与硅粉混合，最后等离子喷涂成靶材。本发明的靶材用真空磁控溅射方法制成的薄膜，致密性好，寿命更久，红外线反射率高，可见光透过率和反射率低。

主权项

1.一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材的制备方法，其特征是：用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材的配方比例按重量份计：硅20‑50份，银25‑55份，铪0.1‑3份，钪0.1‑2份，铝1‑5份，钒2‑7份，镍0.2‑7份，铬0.1‑1份，钴0.1‑2份，氮0.3‑1份，硫0.003‑0.01份；用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材的制备步骤如下：（1）铝锭和三硫化二铝熔化、制粉：向真空雾化制粉设备的熔炼炉中放入称量好的铝锭1‑5份，用40‑60kW 的功率将铝锭熔化得到铝熔液，保温温度控制为850‑900℃，保温时间为10min；之后向熔液中加入0.0047‑0.016份三硫化二铝粉末，以15‑30kW的功率熔炼30min；之后气雾化成100‑150目的粉末；（2）银、镍、钒、V₃₂N₂₆、钪、铪、钴和铬的熔化、制粉：将称量好的银块25‑55份放入真空雾化制粉设备的熔炼炉中，用50‑70kW 的功率将银熔化得到熔液，将温度控制在1255‑1265℃；之后向熔液中加入铬0.1‑1份，以15‑30kW的功率熔炼6‑10分钟；之后向熔液中加入钪0.1‑2份，以40‑60kW的功率熔炼14‑16分钟，温度升至1500‑1600℃；之后向熔液中加入镍块0.2‑7份、铪块0.1‑3份、钴块0.1‑2份和0.68‑5.68份海绵钒，以50‑70kW 的功率熔炼，将温度升至1700‑1750℃，精炼8‑12分钟；之后向熔液中加入1.62‑5.4份V₃₂N₂₆粉末，以25‑50kW 的功率精炼28‑32分钟；之后气雾化成120‑180目的粉末；（3）混粉：将上述所得粉末按比例与80‑150目的20‑50份的硅粉混合；取出所得粉末，放入烘箱，以45‑55℃烘烤10‑14小时，待用；（4）制成旋转硅银靶材：将前述所得混合粉末用等离子喷涂的工艺喷涂在不锈钢衬管上，得到旋转硅银靶材。