[发明专利]一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材及其制备方法有效
| 申请号: | 201710724582.1 | 申请日: | 2017-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN107502867B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
| 发明(设计)人: | 秦国强;常金永;张志祥 | 申请(专利权)人: | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/18;C22C5/06;C22C30/00;C23C4/06;C23C4/134 |
| 代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;张仕婷 |
| 地址: | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 熔化 热反射玻璃 银靶材 靶材 制粉 材料技术领域 红外线反射率 可见光透过率 真空磁控溅射 等离子喷涂 致密性好 反射率 硫化 硅粉 铝锭 制备 薄膜 | ||
本发明涉及一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材,属于材料技术领域。其包括硅20‑50份,银25‑55份,铪0.1‑3份,钪0.1‑2份,铝1‑5份,钒2‑7份,镍0.2‑7份,铬0.1‑1份,钴0.1‑2份,氮0.3‑1份,硫0.003‑0.01份。通过铝锭和三硫化二铝的熔化、制粉,银、镍、钒、V32N26、钪、铪、钴和铬的熔化、制粉,之后和将前述所得粉末与硅粉混合,最后等离子喷涂成靶材。本发明的靶材用真空磁控溅射方法制成的薄膜,致密性好,寿命更久,红外线反射率高,可见光透过率和反射率低。
技术领域
本发明涉及一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材及其制备方法,属于材料技术领域。
背景技术
热反射热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜,用其制作成的玻璃幕墙在现代建筑中应用的非常普遍,具有节能及调节室内光线的作用,并且使建筑具有现代的美感。其具有以下功能:1、反射和吸收可见光的功能,室内不受强光照射,视觉柔和;2、对红外线有较高的反射率,具有很好的节能性能;3、对紫外线有较高的吸收率,保护室内人员和物品免受紫外线的伤害。但是,由于其对可见光的反射率最高达82%-90%,给城市带来了严重的光污染。玻璃幕墙反射带来噪光,使人产生眩晕甚至影响身体健康,还会影响司机视线,造成交通事故。
发明内容
本发明专利的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材及其制作方法,其用真空磁控溅射方法制成的薄膜,致密性好,寿命更久,红外线反射率高,可见光透过率和反射率低。
按照本发明提供的技术方案,一种用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材,配方比例按重量份计:硅20-50份,银25-55份,铪0.1-3份,钪0.1-2份,铝1-5份,钒2-7份,镍0.2-7份,铬0.1-1份,钴0.1-2份,氮0.3-1份,硫0.003-0.01份。
所述旋转硅银靶材密度4.95-7.11g/cm3,电阻率0.07-15 mΩ·cm ,导热率65.8-193W/(m·K) 。对应的热反射膜红外线反射率53%-87%,可见光透过率26%-49%,可见光反射率7%-25%。
所述用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材,配方比例按重量份计:硅20-25份,银52-55份,铪2.7-2.9份,钪1.6-1.9份,铝3.1-4.3份,钒6.7-7.0份,镍6-7份,铬0.5-0.8份,钴1.3-1.7份,氮0.8-1份,硫0.003-0.008份。
所述旋转硅银靶材密度6.96-7.11g/cm3,电阻率0.07-0.09 mΩ·cm ,导热率186-193W/(m·K) 。对应的热反射膜红外线反射率78-82%,可见光透过率41-46%,可见光反射率11-15%。
所述用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材,配方比例按重量份计:硅30-34份,银45-49份,铪1.5-2.0份,钪1.8-2.0份,铝3.8-4.1份,钒2.8-6.3份,镍5-6份,铬0.3-0.4份,钴0.1-0.3份,氮0.6-0.7份,硫0.005-0.007份。
所述旋转硅银靶材密度6.35-6.66g/cm3,电阻率0.26-0.63 mΩ·cm ,导热率157-172W/(m·K) 。对应的热反射膜红外线反射率71-79%,可见光透过率39-45%,可见光反射率16-18%。
所述用于热反射玻璃行业旋转硅银靶材,配方比例按重量份计:硅38-42份,银37-41份,铪1.2-2.4份,钪1.7-1.9份,铝4.3-4.5份,钒2.6-5.6份,镍3.1-3.3份,铬0.5-0.7份,钴1.0-1.7份,氮0.6-0.7份,硫0.005-0.009份。
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