[发明专利]基于LED的无尘室照明装置在审
| 申请号： | 201710713062.0 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107765512A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 梅拉妮·克勒;阿明·康拉德 | 申请（专利权）人： | 朗德万斯公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21S4/28;F21V9/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 张凯,张杰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于在光刻应用中进行空间照明的发光设备(尤其是结构形式为T5和T8的改装灯)具有光引擎，该光引擎具有第一光源和第二光源，第一光源设置成发出在约500nm之上的波长范围中的光，第二光源设置成发出与第一光源不同的波长范围的光。第一光源产生在如下光谱范围中的光，即，在该光谱范围中在光刻时所使用的光刻胶不敏感。第二光源(本身或与第一光源结合地)产生白光。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 led 无尘室 照明 装置 | ||
【主权项】：
用于在光刻应用中进行空间照明的发光设备，所述发光设备具有至少部分透明的壳体和布置在壳体中的光引擎，其特征在于，所述光引擎具有：至少一个第一光源，所述至少一个第一光源设置成发出仅在约500nm之上的波长范围中的光，和至少一个第二光源，所述第二光源设置成发出与所述第一光源不同的波长范围。
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