[发明专利]基于LED的无尘室照明装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于在光刻应用中进行空间照明的发光设备。本发明尤其涉及呈管形的改装灯。

背景技术

为了在光刻应用中尤其在无尘室条件下照明使用荧光灯(日光灯管、空气放电管)，其具有安装在外侧的过滤器软管。过滤器软管尤其吸收荧光灯的光的这种光谱部分，即，在光刻时所使用的光刻胶对该光谱部分敏感，即，光刻胶吸收的波长，由此使光刻胶硬化。目前大多使用的光刻胶在汞气灯的发射谱线中、尤其在435nm、405nm和365nm中特别强烈地吸收。一些现代化的光刻胶也尤其在约380nm之下的范围中发生吸收。

由此，如此选择过滤器软管的材料，即，在约500nm之下没有或几乎没有光辐射。因此，通常具有过滤器软管的荧光灯产生黄光以用于空间照明。

然而，尤其在维护工作时黄色的空间照明不是最佳的。因此通常设置额外的、白色的、“中性的”空间照明，其可用于维护期间或在出于其他原因需要“中性的”照明时。然而在这种情况下必须确保在进行光刻应用期间不会无意地接通该白色照明，从而避免无意地曝光光刻胶。

作为分开的白色照明装置的替代，可在维护工作之前将黄色的荧光灯替换成白色的灯。在维护工作结束之后，此时必须再次换回成黄色的灯。但是这根据灯的数量而导致在时间以及经济上的附加成本。

发明内容

在已知的现有技术的基础上，本发明的目的是提供一种经改进的用于在光刻应用中进行空间照明的发光设备，其克服上面所述的问题或至少减少这些问题。

根据本发明，该目的通过具有独立权利要求所述特征的发光设备实现。有利的改进方案从从属权利要求中得出。

根据本发明的用于在光刻应用中进行空间照明的发光设备具有壳体，壳体至少部分地是透明的和/或半透明的。在壳体的内部布置有用于产生光的光引擎。光引擎具有至少一个第一光源和至少一个第二光源。至少一个第一光源(下面为了简化称为第一光源)设置成，发出的光基本上仅在约500nm之上的可见的波长范围中。因此，第一光源在约500nm以下的波长范围中几乎没有发出光。从380nm至780nm的范围看作是可见的波长范围。传统的如用于在光刻应用中进行空间照明的具有过滤器软管的空气放电管在约500nm以下的波长范围中发出的光通常小于5mW/1000lm、优选小于2mW/1000lm、更优选小于0.5mW/1000lm、特别优选小于0.05mW/1000lm。在约500nm以上的波长范围中的光特别适合用于在光刻应用期间的空间照明，因为光刻胶在该范围中通常是不敏感或几乎是不敏感的。

至少一个第二光源(下面为了简化称为第二光源)设置成，发出在与第一光源不同的波长范围中的光。第二光源的光可(单独地或与第一光源的光结合地)应用在例如维护工作时不期望或不适合在约500nm之上的波长范围中照明时的情况。

优选地，第一光源和/或第二光源可分别具有至少一个发光二极管(LED)。

在一个优选的实施方式中，第一光源设置成，产生在约500nm之上的波长范围中的光。这意味着，由光源(例如LED)直接产生的光(即，没有后续过滤的情况下)几乎仅处于约500nm之上的波长范围中。例如，作为第一光源使用产生(近似)仅在约500nm之上的波长范围中的光的发光二极管。

对此替代地，可使至少一个第一光源设有过滤器，其吸收在约500nm之下的波长范围中的光。由光源(例如LED)直接产生的光此时也可至少部分地处于约500nm之下的波长范围中，其中，该光谱部分被过滤器吸收。在这种情况下，例如使用产生白光的发光二极管作为第一光源，该白光接着被过滤，从而仅从第一光源中发出在约500nm之上的波长范围中的光。

当然也可使第一光源额外地具有这种过滤器，第一光源的发射光谱仅或大多处于约500nm之上的波长范围中。由此能够在需要时对发射光谱进一步优化并且根据要求来调整。

作为第一光源例如可使用由OSRAM销售的名称为OSLON LY CP7P的LEDs。基于InGaAlP技术的LEDs在约500nm之上的波长范围中并且尤其在黄色至橘色的光谱范围中特别有效。OSLON LY CP7P例如在半值宽度为16nm的情况下具有的发射波长为597nm。此时，在500nm之下的波长范围中的射线部分约小于0.01％。