[发明专利]一种柔性温度传感器及其制备工艺在审
| 申请号： | 201710711050.4 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109405991A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 潘小山;刘芮彤;梁圣法 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01K7/22 | 分类号： | G01K7/22;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性温度传感器及其制备工艺，所述传感器包括：位于传感器最顶层和最底层的柔性基底材料；位于底层基底材料之上的静电网；位于静电网之上的绝缘材料；位于绝缘材料之上的叉指电极；位于所述电极之上，并与电极紧密接触的纳米温度敏感材料；位于纳米温敏材料之上，并与之紧密接触的绝缘层材料；位于绝缘层材料之上的静电网材料；位于静电网之上的绝缘材料。本发明通过自组装技术在柔性基底上制备柔性温度传感器，可以适用于不规则形状物体的温度监测，本发明提出的柔性温度传感器具有柔性好，抗干扰能力强，成本低等突出优点。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性温度传感器 静电网 绝缘材料 绝缘层材料 制备工艺 电极 传感器 不规则形状物体 柔性基底材料 温度敏感材料 抗干扰能力 叉指电极 基底材料 柔性基底 温度监测 温敏材料 自组装 最底层 最顶层 制备 | ||
【主权项】：
1.一种柔性温度传感器，其特征在于，包括：位于传感器最顶层和最底层的柔性基底材料；位于最底层基底材料之上的下静电网材料；位于下静电网材料之上的下绝缘材料；位于下绝缘材料之上的叉指电极；位于所述叉指电极之上，并与之紧密接触的纳米温度敏感材料；位于纳米温敏材料之上，并与之紧密接触的上绝缘材料；位于上绝缘材料之上的上静电网材料。
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