[发明专利]浓水处理方法及硅片脱胶方法有效
| 申请号： | 201710707481.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107473331B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张超;邓浩;郭江涛;高攀红;魏超锋;曹明奇;辛丽 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/42 | 分类号： | C02F1/42;C02F5/10;C02F5/12;C02F5/14;C02F9/04;H01L31/18;C02F103/34 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的浓水处理方法，其向纯水制备过程中产生的浓水中加入离子交换树脂和/或络合剂，将浓水处理成硅片脱胶用水，硅片脱胶用水的电导率不超过1mS/cm，硬度不超过300mg/L。本发明公开的硅片脱胶方法，至少包括硅片脱胶用水的制备步骤，硅片脱胶用水的制备采用如上所述的浓水处理方法；在脱胶装置中，用制备得到的硅片脱胶用水对切割完毕的硅片进行包括喷淋、漂洗步骤的脱胶工序。本发明的浓水处理方法实现了浓水在硅片脱胶工序中的合理应用，减少了自来水或中水的使用量，环保减排，节约成本。本发明的硅片脱胶方法通过控制浓水的使用温度、使用时间和离子浓度，保证了浓水回收使用时对正常生产无不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 水处理 方法 硅片 脱胶 | ||
【主权项】：
浓水处理方法，其特征在于，其向纯水制备过程中产生的浓水中加入离子交换树脂和/或络合剂，将所述浓水处理成硅片脱胶用水，所述硅片脱胶用水的电导率不超过1mS/cm，硬度不超过300mg/L。
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