[发明专利]一种蒸发源

摘要

本发明提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料；相较于现有的蒸发源，本发明所提供的蒸发源，自身采用导电材料制成，通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热，进而得到均匀的加热效果，蒸镀制得高品质的膜层。

主权项

1.一种蒸发源，其特征在于，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室，以及盖体，所述盖体盖合于所述主体表面以密闭所述材料腔室；其中，所述盖体还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述盖体上；所述主体外侧设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料；所述盖体的外侧设置有第三电极连接端，以及与所述第三电极连接端极性相反的第四电极连接端；所述主体底部突出形成一子材料腔室，所述子材料腔室一侧设置有第五电极连接端，所述子材料腔室相对另一侧设置有第六电极连接端，所述第五电极连接端与所述第六电极连接端极性相反。