[发明专利]一种蒸发源

说明书

本发明提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料；相较于现有的蒸发源，本发明所提供的蒸发源，自身采用导电材料制成，通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热，进而得到均匀的加热效果，蒸镀制得高品质的膜层。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发源。

背景技术

在真空镀膜过程中，需要通过蒸发源将蒸镀材料蒸发(或升华)为蒸汽，蒸汽在待蒸镀物体表面凝结后形成膜层。因此，蒸发源产生的蒸汽是否均匀，对所形成的膜层的质量是十分重要的。蒸发源通常为“线源”形式，其包括长条形的腔室，腔室顶部均匀开设有多个出气孔，底部则连接坩埚，坩埚用于盛放蒸镀材料并将其蒸发，产生的蒸汽进入腔室后并从喷嘴排出。

成膜质量与蒸镀的温度、速率有直接联系。要得到均匀的膜层，就需要蒸镀材料受热均匀。而目前产线在用的蒸发源导致坩埚温度分布不均主要原因有：加热丝变形，坩埚放置偏位、坩埚周围热反射受热变形等导致的热传导环境发生改变。

综上所述，现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板。

发明内容

本发明提供一种蒸发源，能够使材料腔室的各区域受热均匀，进而蒸镀形成高品质的膜层，以解决现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：

主体，所述主体内部开设有材料腔室，所述材料腔室的开口位于所述主体表面；其中，

所述主体外侧设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料。

根据本发明一优选实施例，所述蒸发源本体还包括：盖体，盖合于所述主体表面以密闭所述材料腔室；所述盖体表面一体成形有至少一喷嘴；所述盖体外侧的任意位置设置有第三电极连接端，以及与所述第三电极连接端极性相反的第四电极连接端，所述第三电极连接端与所述第四电极连接端通电后，所述盖体自身导电产生热量以加热所述喷嘴。

根据本发明一优选实施例，所述第一电极连接端位于所述主体的第一端部，所述第二电极连接端位于所述主体相对所述主体的第一端部的第二端部；

所述第三电极连接端位于所述盖体的第一端部，所述第四电极连接端位于所述盖体相对所述盖体的第一端部的第二端部。

根据本发明一优选实施例，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端同为正电极，所述第二电极连接端与所述第四电极连接端同为负电极；其中，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端位于所述蒸发源本体的同一侧；所述第二电极连接端与所述第四电极连接端位于所述蒸发源本体的同一侧。

根据本发明一优选实施例，所述主体形状接近长方体，所述第一端部位于所述主体一端面的中心位置，所述第二端部位于所述主体另一端面的中心位置；所述盖体形状接近长方体，所述第三端部位于所述盖体一端面的中心位置，所述第四端部位于所述盖体另一端面的中心位置。

根据本发明一优选实施例，所述主体与所述盖体采用高熔点材料制作，所述高熔点材料为W，Ni，Cr，Cu，Fe，Al，Nb，Mo，Ti的一者或两者以上的组合。