[发明专利]一种采用接触式轮廓仪检验Wolter-Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统及方法有效
| 申请号： | 201710688241.3 | 申请日： | 2017-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN107687832B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孔繁星;孙涛;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用接触式轮廓仪检验Wolter‑Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统及方法，所述测试系统由轮廓仪和辅助调整装置两部分构成，所述辅助调整装置包括X轴直线位移台、水平回转转台、竖直面回转转台以及装卡工件的卡盘，其中：X轴直线位移台固定安装在轮廓仪检测平台的台面上，水平回转转台固定安装在X轴直线位移台上，竖直面回转转台固定安装在水平回转转台上，卡盘固定安装在竖直面回转转台上，用于装卡芯轴。本发明能够完成Woler I型芯轴的尺寸误差、表面粗糙度、波纹度和形状误差等性能指标的检验，无需使用其他额外的超精密测量仪器，减少了超精密测量仪器的购置成本，减少了测量次数，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试系统 回转转台 水平回转 直线位移 转台 竖直面 超精密测量仪器 辅助调整装置 接触式轮廓仪 芯轴表面 轮廓仪 检验 表面粗糙度 测量效率 尺寸误差 形状误差 装卡工件 波纹度 卡盘 芯轴 装卡 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种采用接触式轮廓仪检验Wolter‑Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统，其特征在于所述测试系统由轮廓仪和辅助调整装置两部分构成，所述辅助调整装置包括X轴直线位移台、水平回转转台、竖直面回转转台以及装卡工件的卡盘，其中：所述X轴直线位移台固定安装在轮廓仪检测平台的台面上，其运动方向垂直于探针的运动方向，用于控制芯轴沿X方向的直线运动；所述轮廓仪的纵向分辨率为0.8nm，水平方向最大行程为200mm，竖直方向传感器最大测量范围12.5mm；所述水平回转转台固定安装在X轴直线位移台上，用于控制芯轴在水平面内绕B轴旋转；所述竖直面回转转台固定安装在水平回转转台上，用于控制芯轴在竖直面内绕A轴旋转，以调整芯轴轴线与探针运动方向平行；所述卡盘固定安装在竖直面回转转台上，用于装卡芯轴。
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